隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對12英寸晶圓需求的快速增長，核心熱處理設(shè)備自主發(fā)展已成為支撐半導(dǎo)體先進(jìn)制程高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵之一。近日，電科裝備旗下中電科紅太陽光電公司迎來產(chǎn)業(yè)化發(fā)展新成果，國內(nèi)首臺12英寸臥式爐設(shè)備順利發(fā)往客戶現(xiàn)場。該設(shè)備的成功研制，標(biāo)志著國產(chǎn)半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備在先進(jìn)制程領(lǐng)域取得重要突破，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平提供強(qiáng)力支持。
本次發(fā)貨的12英寸臥式爐設(shè)備精準(zhǔn)對標(biāo)行業(yè)先進(jìn)制程發(fā)展趨勢，直擊行業(yè)痛點(diǎn)，重點(diǎn)攻克了臥式爐溫場均勻性、流場均勻性、自動化控制及顆?？刂频燃夹g(shù)卡點(diǎn)，全面滿足了專用臥式爐設(shè)備大尺寸晶圓處理、優(yōu)異溫度均勻性及高運(yùn)行穩(wěn)定性等產(chǎn)線關(guān)鍵性能要求。同時(shí)，該設(shè)備率先實(shí)現(xiàn)與客戶端天車（OHT/AGV）系統(tǒng)的自動化對接，適配半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)鍵熱處理工藝，有效完成設(shè)備自動化集成，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)國際先進(jìn)水平，切實(shí)保障了大尺寸晶圓高質(zhì)量生產(chǎn)制造能力。
未來，電科裝備將堅(jiān)持“產(chǎn)業(yè)強(qiáng)企”發(fā)展戰(zhàn)略，集中優(yōu)勢資源攻堅(jiān)行業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)，以硬核科技實(shí)力護(hù)航產(chǎn)業(yè)發(fā)展，為提升國家戰(zhàn)略科技力量、實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)筑牢原始創(chuàng)新根基。
